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廣州潽拓光電——
結構組成:渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉子(即動葉輪)、靜葉輪和驅動系統(tǒng)等組成。
工作原理:
主要有立式和臥式兩種。
動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度(一般為150~400米/秒)。單個葉輪的壓縮比很小,渦輪分子泵要由十多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動、靜葉輪幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。圖為20個動葉輪組成的整體式轉子。每兩個動葉輪之間裝一個靜葉輪。靜葉輪外緣用環(huán)固定并使動、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動葉輪可在靜葉輪間自由旋轉。

特點:抽速大、無油、啟動快、無油污染、維護簡單
工作范圍:清潔的低真空~中、高真空,大氣~超高真空極限真空:10-6/ 10-10torr
缺點:結構復雜、對軸承耐磨程度要求高、制造成本高


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