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在所有應(yīng)用產(chǎn)業(yè)中，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對靶材濺射薄膜的品質(zhì)要求是苛刻的。如今12英寸（300衄口）的硅晶片已制造出來．而互連線的寬度卻在減小。硅片制造商對靶材的要求是大尺寸、高純度、低偏析和細(xì)晶粒，本溪1N金靶材，這就要求所制造的靶材具有更好的微觀結(jié)構(gòu)。靶材的結(jié)晶粒子直徑和均勻性已被認(rèn)為是影響薄膜沉積率的關(guān)鍵因素。另外，薄膜的純度與靶材的純度關(guān)系極大，過99.995%（4N5）純度的銅靶，或許能夠滿足半導(dǎo)體廠商0.35pm工藝的需求，但是卻無法滿足如今0.25um的工藝要求。
導(dǎo)電輥包括導(dǎo)電輥的外層由至少部分導(dǎo)電性由離子導(dǎo)電性聚合物的組合物賦予的導(dǎo)電性橡膠組合物構(gòu)成、內(nèi)層由離子導(dǎo)電性聚合物的組合物賦予導(dǎo)電性的導(dǎo)電層以外的橡膠等構(gòu)成的雙層導(dǎo)電輥，以及與上述相反的外層由離子導(dǎo)電性聚合物賦予導(dǎo)電性的導(dǎo)電層以外的橡膠等構(gòu)成、內(nèi)層由至少部分導(dǎo)電性由離子導(dǎo)電性聚合物的組合物賦予的導(dǎo)電性橡膠組合物構(gòu)成的雙層導(dǎo)電輥。
以含有氯原子的表橡膠為代表的橡膠組分，哪里有1N金靶材，用于導(dǎo)電橡膠輥，以允許導(dǎo)電橡膠輥呈離子導(dǎo)電性。該情況下，含有氯原子的橡膠組分具有較高的表面自由能。因此，含有氯原子的橡膠組分容易粘附于色粉和用于色粉的添加劑上。當(dāng)含有氯原子的橡膠組分與離子導(dǎo)電的單體聚合時(shí)，導(dǎo)電輥具有較高的表面自由能并且容易弄濕。因此粘附于導(dǎo)電橡膠輥的色粉量變得較高。當(dāng)通過用紫外線照射其表面或者使其暴露于臭氧中，使導(dǎo)電橡膠輥的表面上形成氧化膜時(shí)，導(dǎo)電橡膠輥表面的氧濃度變得較高。
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第9年
