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在電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強烈的腐蝕性和毒性。因此在電力系統GIS等應用SF6的工作場所，要加裝SF6氣體泄漏監測設備，SF6氣體監測的主要方法有一下四種:
1)電化學技術(TGS830、TGS832)費加羅傳感器或鹵素氣體傳感器。
電化學技術的原理是被檢測氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發生相應的化學反應，從而產生電信號的改變，以此來發現被檢測氣體。電化學技術其成本低、壽命長、結構簡單，六氟化硫開關，可以連續工作的特點。
2)高壓擊穿技術。
電i擊穿技術是從SF6在電力上的典型應用--作為絕緣氣體應用在GIS開關柜中演變而來的。其工作原理是根據SF6氣體絕緣的特性，從置于被檢測空氣中的高壓電極間電壓的變化來判斷空氣中是否含有SF6氣體。因其結構相對簡單，成本低，檢測精度相對高的特點。
3)紅外光譜技術(IAC510)
紅外光譜吸收技術(又稱激光技術)的原理是SF6作為溫室氣體，對特定波段的紅外光有很強烈的吸收特性。紅外光譜技術的特點是成本高，結構復雜，靈敏度高，江蘇六氟化硫，不受環境的影響和干擾，對環境的溫度和濕度的變化所帶來的檢測誤差很小，由于其是采用主動抽取測試點氣體的原理，帶來的效果是發現泄漏早，反應迅速。同時系統結構對工程實施中的布線也帶來了很大的方便。
4)電子捕獲ECD原理
電子捕獲檢測器(electron capture detector)，六氟化硫檢測，簡稱ECD。 電子捕獲檢測器也是一種離子化檢測器，它是一個有選擇性的高靈敏度的檢測器，它只對具有電負性的物質，如含鹵素、硫、磷、氮的物質有信號，物質的電負性越強，也就是電子吸收系數越大，檢測器的靈敏度越高，而對電中性(無電負性)的物質，如烷烴等則無信號。
氣體毒性來源
六氟化硫氣體的毒性主要來自5個方面。
1、電器設備內的六氟化硫氣體在高溫電弧發生作用時而產生的某些有毒產物。
2、六氟化硫產品不純，出廠時含高毒性的低氟化硫、氟i化氫等有毒氣體。
3、電器設備內的六氟化硫氣體及分解物與電極(Cu-W合金)及金屬材料(AL、Cu)反應而生成某些有毒產物。
4、電器設備內的六氟化硫氣體分解物與其內的水分發生化學反應而生成某些有毒產物。
5、電器設備內的六氟化硫氣體及分解物與絕緣材料反應而生成某些有毒產物。如與含有硅成分的環氧酚醛玻璃絲布板(棒、管)等絕緣件;或以石英砂、玻璃作填料的環氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學作用，生成SiF4、Si(CH3)2F2等產物。
溫室效應是指大氣中的二氧化碳等氣體能透過太陽短波輻射，使地球表面升溫。同時阻擋地球表面向宇宙空間發射長波輻射，從而使大氣增溫。由于二氧化碳等氣體的這一作用與 ' 溫室 ' 的作用類似，故稱之為 ' 溫室效應 ' ，二氧化碳等氣體被稱為 ' 溫室氣體 ' 。
發現人類活動排放的溫室氣體有六種，它們是二氧化碳、甲i烷、氧化亞氮、氫氟碳合物、全氟化碳、六氟化硫，這當中氟化物就有三種。其中 CO2 對溫室效應影響i大，占 60% ，而 六氟化硫(SF6) 氣體的影響僅占 0.1% ，但 六氟化硫(SF6) 氣體分子對溫室效應具有潛在的危害，這是因為 六氟化硫(SF6) 氣體一個分子對溫室效應的影響為 CO2 分子的 25000 倍，同時，排放在大氣中的 六氟化硫(SF6) 氣體壽命特長，約 3400 年。現今，每年排放到大氣中的 CO2 氣體約 210 億，而每年排放到大氣中的 六氟化硫(SF6) 氣體相當于 1.25 億 t CO2 氣體。
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