工業上大量使用的是工業純稀土金屬,較高純度的稀土金屬主要供測定物理化學性能之用。主要有四種提純方法在試驗室中使用,即真空熔融,江蘇銀鈀靶材,真空蒸餾或升華,電遷移和區域熔煉。 稀土金屬棒在區域熔煉爐中以很慢的速度(如提純釔時為0.4毫米/分),進行多次區熔,哪家有銀鈀靶材,對去除鐵、鋁、鎂、銅、鎳等金屬雜質有,但對氧、氮、碳、氫無效。此外,電解精煉、區熔-電遷移聯合法提純稀土也有一定效果。







所述泡沫彈性層包含:至少三種具有不同體積電阻率的導電性橡膠,這三種導電性橡膠的體積電阻率小于約I X ο14 Ω Cm ;至少一種體積電阻率為約IXlO14Qcm或更大的絕緣橡膠;以及至少兩種導電性填料。

所述絕緣橡膠為選自由三元乙丙橡膠、硅橡膠和丁基橡膠構成的組中的至少一種橡膠。根據本發明的第三方面,所述導電性橡膠和所述絕緣橡膠為氯醚橡膠、丁苯橡膠和三元乙丙橡膠,銀鈀靶材價格,或者為氯丁橡膠、氯醚橡膠、丁苯橡膠和三元乙丙橡膠。根據本發明的第四方面,所述絕緣橡膠的含量為橡膠成分總量的約30質量%至約40質量%。
鎢-鈦(W-Ti)膜以及以鎢-鈦(W-Ti)為基的合金膜是高溫合金膜,銀鈀靶材廠,具有一系列的優良性能。鎢具有高熔點、高強度和低的熱膨脹系數等性能,W/ Ti 合金具有低的電阻系數、良好的熱穩定性能。如各種器件都需要起到導電作用的金屬布線,例如Al 、Cu 和Ag 等已經被廣泛的應用和研究。但是布線金屬本身易 氧化、易與周圍的環境發生反應,與介質層的粘結性差,易擴散進入Si 與SiO2 等器件的襯底材料中,并且在較低的溫度下會形成金屬與Si 的化合物, 充當了雜質的角色,使器件的性能大幅度下降。


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