鎢-鈦靶材作為光伏電池鍍膜材料是近發展起來的,它作為第三代太陽能電池的阻擋層是佳選擇。
由于 W-Ti 系列薄膜具有非常優良的性能,近幾年來應用量急劇增加,2008年W-Ti 靶材世界用量已達到400t,隨著光伏產業的發展,這種靶材的需求量會越來越大。具行業預測其用量還會有很大的增加。國際太陽能電池市場以的速度增長,目前世界有30 多公司參與太陽能市場的進一步開發, 并已有的公司產品投入市場。







而未米的0.18um}藝甚至0.13m工藝,山東玫瑰金靶材,所需要的靶材純度將要求達到5甚至6N以上。銅與鋁相比較,銅具有更高的抗電遷移能力及更低的電阻率,能夠滿足!導體工藝在0.25um以下的亞微米布線的需要但卻帶米了其他的問題:銅與有機介質材料的附著強度低.并且容易發生反應,導致在使用過程中芯片的銅互連線被腐蝕而斷路。

為了解決以上這些問題,需要在銅與介質層之間設置阻擋層。阻擋層材料一般采用高熔點、高電阻率的金屬及其化合物,玫瑰金靶材加工,因此要求阻擋層厚度小于50nm,與銅及介質材料的附著性能良好。銅互連和鋁互連的阻擋層材料是不同的.需要研制新的靶材材料。銅互連的阻擋層用靶材包括Ta、W、TaSi、WSi等.但是Ta、W都是難熔金屬.制作相對困難,玫瑰金靶材價格,如今正在研究鉬、鉻等的臺金作為替代材料。
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