我司從事機電自動化，光電存儲媒體，半導體，醫liao，太陽能電池板，玻璃鍍膜，科學研究所等真空鍍膜設備維修，銷售，設計，開發及系統工程，軟件開發，leybold，Pfeiffer，Alcatel，Agilent(Varian)，BOC Edwards，Osaka，ULVAC，Shimadzu等分子泵，真空泵，真空計維修保養/銷售等業務。

廣州潽拓——維修PFEIFFER DUO 3

雙級旋片泵 DUO 2.5/DUO 3 工作原理

旋片式真空泵是油密封的旋轉式排量泵。泵系統包括一個殼 體 (1)、一個偏心地

安裝的轉子 (2)、在離心力和彈力作用下 徑向移動的葉片 (3) 以及入口和出口

(4)。入口閥（如配置）被設計為真空安全閥，普發真空分子泵維修公司，該閥在操作過程中始終處于打開狀 態。

工作室 (5) 位于殼體內，并受到定子、轉子和葉片的限 制。偏心安裝的轉子和葉

片將工作室分為具有可變容積的兩 個獨立艙。當轉子轉動時，氣體流入擴大的吸入

室直至其被 第二個葉片封住。封閉氣體然后進行壓縮，直到出口閥沖破 大氣壓力

而開啟。出口閥是油封的。當閥打開時，少量的油進入吸入室，不僅能夠對其進行

潤 滑，而且能夠將葉片與殼體（定子）密封開來。

旋片式真空泵的工作原理

在氣鎮操作的情況下，一個孔向外側打開，讓氣體流入前側 的密封吸入室。因此，

在壓縮抽吸階段，在相對低的壓縮下 達到打開出口閥所需的壓力。這使得蒸汽開始

冷凝前排出置 換的氣體/蒸汽混合物。在操作過程使用氣鎮達到的終壓力 高于無

氣鎮操作所達到的壓力。

工作液、油

泵油，也稱為工作液，在旋片式真空泵中泵油有多個任務要 執行。它潤滑所有移動

部件，填充出口閥下的固定空間以及 縮小入口和出口之間的間隙。它壓縮葉片和工

作室之間的間 隙，此外還通過熱傳遞確保溫度平衡。

多級泵

旋片式真空泵是內置的單級和兩極版。二極泵比單級泵實現 相對更低的極限壓力。

此外，氣鎮對極限壓力的影響較低， 因為氣鎮僅允許在高壓力級使用。

真空安全閥

根據所涉及的泵類型，旋片式真空泵可能配備真空安全閥。 真空安全閥在有意或意

外停頓的情況下將泵與真空室隔離， 并使用置換氣體對泵系統進行排氣，防止油液

上升到真空室 中。在開啟泵后，一旦泵中的壓力已達到真空室中的近似壓 力，它

稍作延遲就打開。

    我司從事機電自動化，光電存儲媒體，半導體，醫liao，太陽能電池板，玻璃鍍膜，科學研究所等真空鍍膜設備維修，銷售，設計，開發及系統工程，軟件開發，leybold，Pfeiffer，Alcatel，Agilent(Varian)，BOC Edwards，Osaka，海珠區普發分子真空泵，ULVAC，Shimadzu等分子泵，真空泵，真空計維修保養/銷售等業務。

廣州潽拓光電——普發質譜儀分子泵保養Splitflow310-3P（PUTUOVAC VACUUM）

   本公司于光盤行業，半導體行業，真空鍍膜業，普發真空分子泵，光磁媒體業， 薄膜太陽能行業及科研行業所用的高真空設備提供維修和備件銷售工作，尤擅長維修各類分子泵和分子泵驅動器，高真空探頭及其驅動器，AE/射頻電源維修。是國內首*使用動平衡調整回復原廠測試服務維修公司，也是國內目前維修時效快的公司.應客戶要求，于2016年在廣州設立維修辦事處，普發分子真空泵300，從事客戶服務，對各類分子泵和分子泵驅動器，高真空探頭及其驅動器進行維修。

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潽拓——普發真空分子泵普發真空分子泵普發真空分子泵，分子泵

廣州潽拓光電銷售維修 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 2300

    普發 HiPace 2300 分子泵通過保護等級IP54認證。高抽速和氣體吞吐量。集成驅動電路，工業環境和實驗研究的理想選擇。通過分子泵控制器，監控操作數據保證分子泵的da可靠性。集成水冷系統保證da抽速