磁懸浮分子泵作為高真空系統的設備,其調試是確保性能與可靠性的關鍵步驟。遵循嚴謹流程至關重要:
1.調試前準備:
*環境確認:檢查安裝環境(潔凈度、振動、電磁干擾)符合要求,泵體安裝穩固、對中良好。
*系統檢查:確認所有管路(特別是入口法蘭)連接正確、密封可靠(如使用氦質譜檢漏儀進行真空密封性測試)。冷卻水路暢通,電源與控制線纜連接無誤。
*控制器準備:接通控制器電源,完成系統自檢。確保軟件版本匹配,參數設置(如保護閾值)已按手冊或工藝要求初步配置。
2.啟動與懸浮調試:
*初次上電:在確認前級泵已啟動并建立一定前級真空(通常需達到10-100Pa量級)后,啟動分子泵控制器。此時磁軸承系統開始工作,轉子應平穩懸浮。
*懸浮狀態監控:密切觀察控制器界面顯示的懸浮位置、間隙電流、振動等實時參數。轉子應迅速穩定在設定位置,無異常抖動或報警。如有異常,需立即停機排查(如傳感器、電磁線圈、控制參數問題)。
3.加速與性能測試:
*平穩加速:在懸浮穩定后,指令控制器驅動轉子逐步加速至額定轉速(通常數萬至十萬轉/分)。監控電流、溫度、振動變化,確保加速過程平穩,無過流、過熱或振動超標。
*極限真空測試:達到額定轉速并穩定運行后,關閉系統與泵之間的隔離閥(或確保系統無泄漏、無放氣)。記錄泵入口壓力隨時間下降曲線,終測得極限真空度(通常要求優于10^-7mbar,具體看型號與工藝要求),驗證其抽氣能力。
*參數優化與記錄:根據實際運行數據(如振動頻譜),微調磁軸承控制參數(需嚴格遵循手冊指導)。詳細記錄所有關鍵步驟的終參數、測試結果及環境條件。
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