

分子泵是真空技術領域的關鍵設備,專門用于獲得高真空(HV)和超高真空(UHV)。其能力在于能夠將系統內的氣體壓力(即真空度)降低到極低的水平,通常在10^{-7}Pa到10^{-10}Pa甚至更低的范圍。
分子泵通過高速旋轉的轉子與氣體分子的動量交換,實現氣體的定向抽運和壓縮,是獲得高真空和超高真空的動力源。其的極限真空(低至10^{-10}Pa)和穩定的抽氣速度,使其成為現代高科技產業(如半導體、精密儀器)和前沿科學研究中不可或缺的關鍵設備,為各種需要在極低氣體密度環境下進行的工藝和分析提供了基礎保障。其性能直接決定了系統所能達到的終真空度水平。
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