

分子泵作為高真空系統的部件,其潔凈度直接影響真空度、抽速及使用壽命。污染沉積(如油污、顆粒、化學殘留)會顯著降低泵性能,甚至導致軸承卡死或葉片損壞。定期、規范的清潔保養是維持其佳性能與可靠運行的關鍵。
清潔操作流程(務必在泵完全冷卻、斷電并恢復常壓后進行):
1.安全拆卸:佩戴潔凈手套,使用工具小心拆卸泵入口法蘭、出口管道及排氣閥組件(若適用)。注意保護各密封面。
2.初步除塵:使用干燥、無油、低壓力的潔凈壓縮空氣或氮氣,從入口向出口方向吹掃泵腔內部及葉片表面,去除松散顆粒。
3.溶劑清洗():
*選擇溶劑:推薦使用高純度異(IPA)或。嚴禁使用含氯溶劑(如、)或強腐蝕性溶劑。
*操作:用無塵布或無紡布蘸取適量溶劑,輕柔擦拭泵腔內部、轉子、定子葉片等所有可見表面。頑固油污可稍作浸潤后擦拭。避免溶劑浸泡軸承區域。
*關鍵部位:重點清潔各級轉子葉片頂部、側面及定子流道表面。
4.沖洗與干燥:
*用新鮮溶劑沖洗擦拭過的表面,溶解并帶走殘留污物和溶解物。
*立即用大量潔凈干燥的壓縮空氣或氮氣吹干泵內所有部件,確保無任何溶劑或水分殘留。可置于潔凈環境中自然干燥數小時。
5.部件清潔:單獨清潔拆卸下的法蘭、密封圈(檢查老化/變形,必要時更換)、過濾器等。密封圈清洗后需涂抹適量真空脂(如適用)。
6.檢查與組裝:
*仔細檢查泵腔內、葉片有無損傷、變形或嚴重腐蝕。檢查軸承是否順暢(手動輕轉轉子)。
*確保所有部件完全干燥、潔凈。按正確順序和方向(尤其密封圈)小心回裝,使用新密封圈(若舊圈狀態不佳),按規定力矩擰緊法蘭螺栓。
建議:對于嚴重污染或性能顯著下降的泵,或涉及特殊污染物(如聚合物、鹽類),強烈建議將泵返廠或交由維修中心進行深度清潔與維護,以確保佳效果和泵的安全運行。
遵循以上規程進行定期、規范的清潔保養,能有效清除分子泵內部污染物,地恢復并維持其抽氣性能,顯著延長使用壽命,保障高真空系統穩定運行。
Edwards真空分子泵要怎么維修?拜托了幫個忙
Edwards真空分子泵在運轉過程中,出現頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常,之后又下降至一定頻率,再恢復到正常,反反復復,更換電源后現象仍如此,請問該現象如何解釋? 原因:負載太大,系統真空度不.. 全文
求幫助!愛德華分子泵控制器維修要注意什么內容?求解答
愛德華分子泵控制器故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置,此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。 全文
alcatel 分子泵維修費用
關于Alcatel分子泵的維修費用,這是一個相對復雜的問題。由于其精密的構造和復雜的電子系統,分子泵一旦出現故障或損壞往往需要的技術人員進行維修服務。而具體的維修費用則取決于多個因素:1.設備型號與品.. 全文
幫個忙,愛德華分子泵控制器維修要注意哪些?
檢查真空表是不是出現了問題,愛德華分子泵控制器出口是否打開,機械泵油是否太臟,機械泵是否旋轉,系統是否漏氣。分子泵的葉片或轉子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉。分子泵加速指.. 全文