渦輪分子泵作為高真空系統的動力,其穩定運行直接關乎實驗精度與設備壽命??茖W保養是關鍵,主要涵蓋以下層面:
一、日常操作規范(基礎防線)
*潔凈啟停:啟動前確保腔體清潔干燥,避免顆粒物或腐蝕性氣體進入;停機時遵循“先關高真空閥,后停泵”原則,防止泵油倒吸污染。
*平穩運行:運行中監控振動與噪音,異常波動往往是軸承磨損或動平衡失效的信號,需立即排查。
*冷卻保障:確保水冷系統暢通,水溫流量達標(參照手冊),過熱會加速潤滑油老化及部件變形。
二、周期性維護(主動防御)
*油霧過濾器:每3-6個月檢查/更換,失效會導致油蒸氣反流污染腔體,影響真空度。
*潤滑油監測:每運行2000-4000小時或按廠家建議更換潤滑油。舊油氧化會產生酸性物質腐蝕軸承。換油時排空舊油并清洗油箱。
*軸承狀態:運行聲音,異常高頻噪音或振動加劇提示軸承磨損(尤其磁懸浮軸承需檢測)。定期檢查軸承溫度。
*密封與連接:檢查O型圈、法蘭密封面是否老化龜裂,真空脂是否均勻無雜質,及時更換失效密封件。
三、深度保養與服務
*內部清潔:每1-2年或污染嚴重時,由人員拆卸清洗泵體內部,清除沉積物(尤其渦輪葉片間),恢復抽速。
*軸承更換:機械軸承壽命通常1-3萬小時,到期或異常時需由原廠或授權機構更換,確保動平衡精度。
*電路檢測:定期檢查電源、控制器接線及散熱,避免電氣故障導致停轉。
安全提示:
*維護前務必斷電,待泵體完全冷卻!
*高速轉子具有慣性,勿強行制動!
*嚴格使用廠家耗材(油品、密封件)。
存放要點:長期停用需排空潤滑油,充入干燥氮氣密封進出口,存放于干燥無塵環境。
遵循手冊,定期維保,您的渦輪分子泵將持久提供純凈、穩定的高真空環境,為科研與生產保駕護航。
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