進口分子泵關機維修方法一、規范關機流程1. 停止運行：通過控制系統逐步降低轉速至完全停轉，避免突然斷電導致轉子失衡。2. 泄壓操作：關閉真空閥門后，通過旁路閥緩慢泄壓至常壓狀態（建議泄壓時間≥30分鐘）。3. 斷電操作：確認停轉后斷開主電源，保留控制電路供電5分鐘以完成數據保存。二、維修檢查項目1. 外觀檢查：排查泵體表面油漬、銹蝕或裂紋，重點檢查動密封處是否漏油。2. 軸承檢測：使用儀器測量軸向/徑向間隙（標準值通常為0.02-0.05mm），檢查滾道磨損情況。3. 密封件檢查：更換所有O型圈（建議2年/次），檢查金屬密封面平整度（誤差應≤0.01mm）。4. 電路檢測：測量電機繞組絕緣電阻（≥100MΩ），檢查驅動器IGBT模塊是否異常發熱。5. 散熱系統：清潔散熱片（壓縮空氣壓力≤0.3MPa），測試冷卻風扇轉速（誤差應≤±5%）。三、常見故障處理1. 異常振動：優先檢查動平衡（允許不平衡量≤1g·mm），校準轉子同軸度（≤0.02mm）。2. 抽速下降：排查前級泵性能（需保持