ULVAC真空泵維修保養指南 ULVAC真空泵作為精密設備，廣泛應用于半導體、光伏、電子鍍膜等工業領域。為確保設備長期穩定運行并延長使用壽命，規范的維修保養至關重要。 一、日常維護要點 1. 潤滑管理：定期檢查油位和油質，建議每500小時更換真空泵油，換油時同步清理油箱底部雜質。使用非原廠油品可能導致潤滑不良或腐蝕部件。 2. 過濾器維護：進氣過濾器需每300小時清潔，油霧過濾器每2000小時更換。堵塞的過濾器會顯著降低抽氣效率。 3. 冷卻系統：確保水冷系統流量≥5L/min，定期清除換熱器水垢，風冷機型需保持散熱片清潔。 二、定期保養項目 1. 季度保養：檢查軸封及密封圈狀態，測量電機絕緣電阻（應＞2MΩ），校驗真空度指標。 2. 年度大修：更換磨損的旋片、彈簧等運動部件，清洗泵腔積碳，檢測軸承間隙（標準值0.02-0.04mm），校準自動保護裝置。 三、常見故障處理 1. 真空度下降：檢查密封件老化（建議3年更換）、油液乳化或泵腔污染情況，必要時進行深度拆解清洗。 2. 異常噪音：多為軸承磨損（壽命約8000小時）或旋片斷裂，應立即停機檢測。 3. 過熱報警：排查冷卻系統故障或油路堵塞，連續運行溫度不應超過75℃。 建議： 1. 建立維護檔案，記錄每次保養時間、更換件型號及性能參數 2. 配備振動分析儀進行預防性檢測，提前發現隱性故障 3. 復雜維修應交由廠家認證工程師處理，使用原廠配件可降低80%返修率 ULVAC真空泵的規范維保可提升30%以上能效，減少意外停機損失。建議與授權服務商簽訂年度維護協議，確保設備處于佳運行狀態。