ULVAC真空泵的維修保養及拆解工作是一項且細致的任務，以下是相關步驟的簡述：首行安全準備。確保泵已完全斷電并處于安全狀態；穿戴好防護裝備如手套、護目鏡等以保護自身不受傷害。然后進行放油與排氣處理，打開放油閥排出潤滑油,斷開進氣排氣管道釋放內部壓力。接著開始拆卸外殼及相關組件:使用合適的工具逐步拆除外殼并記錄順序;檢查軸承密封件等的磨損情況并做好記錄;繼續分離轉子葉片等其他內部組件,保持其完整性避免損壞。完成這些之后才能進行清潔和檢查工作。在組裝前清理所有部件去除雜質；檢查新更換零件是否合格，再按照逆序重新裝配調整間隙，以確保平穩運行安裝到位。