集成分子泵維修時的注意事項主要包括以下幾點：1.安全措施要到位。在進行任何維修保養操作前，務必切斷分子泵的電源并等待其冷卻至室溫；在拆卸或檢查部件時避免直接接觸高溫、高壓區域及尖銳物體等潛在危險源以防受傷和觸電事故的發生。同時應確保工作環境的整潔和安全以避免意外滑倒等情況的出現。2.連接處需仔細檢查與維護。定期檢查所有連接部位如電氣接頭氣管以及油池等的緊固程度防止漏氣漏油現象的發生影響設備的正常運行和工作效率；必要時可使用工具進行緊固或更換損壞件以確保連接的可靠性。此外還需關注密封圈的狀態及時更換老化和磨損的密封圈以避免氣體泄漏等問題對設備真空性能的影響。3.清洗與潤滑維護不可忽視：對于受到污染的內部組件應由技術人員進行清洗并使用合適的清洗劑去除污染物恢復設備的真空性能和運行穩定性，注意切勿使用有腐蝕性的酸堿溶液以免損傷材質和影響使用壽命同時還要按照規定的周期檢查和更換潤滑油以保持潤滑的清潔度和充足性避免因老化污染等原因導致的設備運行不暢問題出現。另外還應注意軸承的檢查和維護包括定期測量振動值檢測噪聲水平等項目，并根據檢查結果采取相應的處理措施，以保障轉子運轉的平衡性和平穩性以及延長軸承的使用壽命期限等等方面內容都需要給予足夠重視并進行妥善處理才能有效地提高整體系統的工作效能和使用壽命指標。