工業(yè)級(jí)四甲基氫氧化銨（Tetramethylammoniumhydroxide，簡(jiǎn)稱TMAH）是一種重要的有機(jī)化合物。其分子式為(CH3)4NOH，通常表現(xiàn)為無(wú)色結(jié)晶或透明液體形態(tài)。TMAH具有強(qiáng)堿性、易吸潮和在空氣中能迅速吸收二氧化碳的特性；同時(shí)它還具有良好的電化學(xué)穩(wěn)定性與化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性——在135\~140℃會(huì)分解氣化而不會(huì)留下殘留物^[2]^。這些性質(zhì)使得它在多種工業(yè)生產(chǎn)中得到廣泛應(yīng)用：例如作為催化劑參與二甲基硅油等物質(zhì)的合成過(guò)程；還可以用于提高電解質(zhì)的導(dǎo)電性和穩(wěn)定性^[3]^。此外,TMA還是一種有效的生物降解劑和處理廢水中的有機(jī)物的重要試劑。而在半導(dǎo)體行業(yè)中,由于金屬離子含量低這一特性使得它成為理想的正膠顯影劑和光刻顯影液成分之一。在具體制備過(guò)程中可能會(huì)采用不同方法如電解法、離子膜法等來(lái)得到高純度且符合應(yīng)用需求的產(chǎn)品：其中通過(guò)優(yōu)化工藝條件和使用高效分離技術(shù)可以顯著提升產(chǎn)物質(zhì)量和產(chǎn)量并降低生產(chǎn)成本及環(huán)境污染風(fēng)險(xiǎn)[2]。因此掌握和應(yīng)用好關(guān)于該物質(zhì)基本原理及其相關(guān)制備方法對(duì)于推動(dòng)相關(guān)行業(yè)技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)品升級(jí)具有重要意義