愛德華分子泵維修低振動：磁懸浮意味著無摩擦，因此振動很低，此外這種特性能夠保持不變，并且不會隨零件磨損而化。 全文

渦輪分子泵是一種高真空獲取設備，廣泛應用于半導體、鍍膜、科研等領域。正確使用可延長泵體壽命并確保性能穩定，操作流程如下：一、安裝與準備 1. 安裝環境需干燥、無塵，避免振動源，泵體垂直固定于平穩基座.. 全文

定期更換真空泵油霧分離器，俗稱的排氣過濾器，防止真空泵油隨著尾氣排出真空泵，造成真空泵油的減少。 全文

軸流分子泵維修注意事項軸流分子泵是真空系統設備，維修需遵循嚴格規范以確保性能與安全性。以下為維修關鍵注意事項：1. 安全操作前置條件 - 維修前必須斷電并泄壓，避免殘余氣體或高速旋轉部件引發事.. 全文