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3、分子真空泵的優點是起動時間短，在分子流態下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適于抽除較重的氣體。 4、它的不足：抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機械故障等，因此除特殊需要外，實際上很少應用。曾一度被結構和制造簡單，抽速大的擴散泵所代替。
它的特點主要有： 1、泵腔內有可旋轉的轉子，轉子的四周帶有溝槽并用擋板隔開。每一個溝槽就相當于一個單級分子真空泵，后一級的入口與前一級的出口相連。 2、轉子與泵殼之間有 0.01mm 的間隙，氣體分子由入口進入泵腔，被轉子攜帶到出口側，經排氣管道由前級泵抽走。
分子真空泵主要是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使氣體分子獲得定向運動的速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵牽引分子真空泵，分子泵，氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。

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