愛德華分子泵維修的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應(yīng)朝上，以防止松弛引起的空氣泄漏 全文

擴散泵是一種高真空泵，通過擴散氣體分子的速度差異來實現(xiàn)氣體抽出。它通常與其他低真空泵(如液環(huán)泵或旋片泵)結(jié)合使用，以提供更高的真空度。擴散泵廠泛用于半導(dǎo)體制造和真窄冶金等工業(yè)領(lǐng)域。 全文

打開Edwards真空分子泵維修之前，必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后，必須關(guān)閉冷卻水閥。 全文

維修保養(yǎng)技巧：采用高分子復(fù)合材料對真空泵實施表面有機涂層防腐，具有非常良好的耐化學(xué)性能及優(yōu)異的力學(xué)性能和粘接性能，與傳統(tǒng)的壓力容器焊接修補相比，具有施工簡便、成本低、安全性能和修復(fù)效果好的特點。 全文