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varian渦輪分子泵操作完成后，應先關閉高真空閥，然后再關閉低真空閥。然后停止旋轉葉片真空泵，然后放氣（例如，使用電磁真空皮帶放氣閥自動放氣），以避免機油回流到真空系統，終切斷了主電源。停水了。
varian渦輪分子泵長時間未操作或環境溫度較低時，可能會導致啟動困難。此時，真空泵的吸入口應排空到大氣中，并且皮帶輪應隨風旋轉。儲存在腔體中的機油將排入燃油箱并可以啟動。如果不可能，則可以通過輻射加熱或紅外燈直接加熱真空泵，直到動態停止為止。
在正常傳輸之前，應對真空泵進行一次測試，以檢查varian渦輪分子泵是否具有異常的振動和沖擊動力學特性。使用的真空泵還應確定真空泵的極限壓力，該極限壓力應符合技術標準。在長期運行的條件下，真空泵不應超過70度。干抽速的測定。干燥比較復雜，通常不檢查。

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